Chức quận trưởng được lập ra cùng thời gian với chức tỉnh trưởng theo Luật ngày 26 tháng 5 năm thứ 8 lịch Cách mạng Pháp. Khi đó, mỗi quận đã có một quận trưởng, trừ quận có tỉnh lỵ là nơi tổng thư ký lỵ sở phục vụ trong vai trò quận trưởng. Sắc lệnh ngày 6 tháng 4 năm 1811 lập ra mỗi quận một quận trưởng kể cả quận có tỉnh lỵ. Tuy nhiên, để giảm ngân sách, một sắc lệnh mới được đưa ra ngày 20 tháng 12 năm 1815 kết hợp chức vụ quận trưởng của một quận có tỉnh lỵ và tổng thư ký lỵ sở của tỉnh đó thành một. Khi đó tổng thư ký lỵ sở của tỉnh được xem như quận trưởng của quận có tỉnh lỵ. Tiếp đến, Sắc lệnh ngày 1 tháng 8 năm 1817 bãi bỏ chức vụ tổng thư ký lỵ sở của tỉnh. Sau cùng chức vụ tổng thư ký lỵ sở lại được phục hồi theo Sắc lệnh ngày 1 tháng 5 năm 1820.